iH 高真空干泵 

我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。

应用

负载锁定

转换

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能与优势

优化了设施消耗

无需预防性维护

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理

在节省电机功率的同时程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证

轴杆一体化设计无需电机联轴器，第五抽排级免除对消音器的需求，也避免了颗粒堆积，两者均减少了总体占地空间

泵系列

实践证明，Edwards 高级半导体真空泵能够达到运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。 

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

iH1800HTX